半導體生產(chǎn)為何需要應用超純水設備?
超純水是一種將水中的導電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的高純度水,一般電阻率大于18MΩ*cm,或接近18.3MΩ*cm極限值(25℃)的我們才稱之為超純水。對于半導體行業(yè)而言,超純水是確保其高效生產(chǎn)的基石之一,所以我們才說半導體生產(chǎn)離不開超純水設備。
在半導體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,清洗步驟占據(jù)了整個生產(chǎn)總步驟的三分之一,可以說整個清洗過程離不開超純水設備。應用專業(yè)的超純水設備即可產(chǎn)出高品質(zhì)的超純水,如今半導體行業(yè)常用的超純水設備核心工藝為反滲透工藝、EDI系統(tǒng)、混床工藝,這樣生產(chǎn)出的超純水電阻率可達18 MΩ*cm(25℃),具有環(huán)保、經(jīng)濟、發(fā)展?jié)摿薮蟮戎T多優(yōu)勢。
半導體行業(yè)應用的超純水設備核心采用的是曲線微導力技術(shù),應用膜法技術(shù),在拋光段采用進口拋光樹脂以及自主研發(fā)的除硼專用樹脂,在保證系統(tǒng)高回收率的同時,有效提高系統(tǒng)的產(chǎn)水水質(zhì)。設備中應用的EDI系統(tǒng)是一種將離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)相結(jié)合的純水制造技術(shù),無需酸堿再生,是一種新型的脫鹽方式,該系統(tǒng)的應用幫助超純水設備降低了運行成本。該設備可連續(xù)穩(wěn)定地制備超純水,不會因為樹脂再生而停止運行,設備結(jié)構(gòu)設計比較嚴密,所以其占地面積非常小,可以為企業(yè)節(jié)省大量空間,屬于實用型超純水設備。
綜上所述,半導體行業(yè)的發(fā)展離不開超純水設備的應用,該設備深受半導體行業(yè)的青睞,在電子芯片、集成電路及封裝、晶圓、科研、航空航天等領(lǐng)域中應用良多。
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